Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть 3-я
Удовиченко С.Ю.
Учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 – Физика, магистерская программа «Физика наноструктур и наносистем».
Тюмень:Издательство Тюменского государственного университета, 2014. 72с.
Тюмень:Издательство Тюменского государственного университета, 2014. 72с.